Τα λεπτά ομοιόμορφα ηλεκτρονικά τμήματα ταινιών 3C πάχους σκουπίζουν Magnetron PVD με ηλεκτρική σκούπα τον ψεκάζοντας εξοπλισμό επιστρώματος

Αρχή εργασίας: Ψεκάστε την απόθεση είναι μια φυσική μέθοδος του (PVD) απόθεσης ατμού απόθεσης λεπτών ταινιών με την επιμετάλλωση. Αυτό περιλαμβάνει την εκτίναξη του υλικού από έναν «στόχο» που είναι μια πηγή επάνω σε ένα «υπόστρωμα» όπως μια γκοφρέτα πυριτίου. Το Resputtering είναι επαν-εκπομπή του κατατεθειμένου υλικού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας απόθεσης από το βομβαρδισμό ιόντων ή ατόμων. Τα ψεκασμένα άτομα που εκτινάσσονται από το στόχο έχουν μια ευρεία ενεργειακή διανομή, χαρακτηριστικά μέχρι τις δεκάδες του eV (100.000 Κ). Τα ψεκασμένα ιόντα (χαρακτηριστικά μόνο ένα μικρό μέρος των εκτιναγμένων μορίων ιονίζεται — σε παραγγελία 1 τοις εκατό) μπορούν ballistically να πετάξουν από το στόχο στις ευθείες γραμμές και τον αντίκτυπο δραστήρια στα υποστρώματα ή την κενή αίθουσα (που προκαλούν). Εναλλακτικά, στις υψηλότερες πιέσεις αερίου, τα ιόντα συγκρούονται με τα άτομα αερίου που ενεργούν ως μεσολαβητής και κίνηση διάχυτα, που φθάνουν στα υποστρώματα ή τον κενό τοίχο αιθουσών και που συμπυκνώνουν μετά από να υποβληθούν σε έναν τυχαίο περίπατο. Η ολόκληρη σειρά από τον υψηλής ενέργειας βαλλιστικό αντίκτυπο στη χαμηλής ενέργειας ιαματικοποιημένη κίνηση είναι προσιτή με την αλλαγή της πίεσης αερίου υποβάθρου. Το ψεκάζοντας αέριο είναι συχνά ένα αδρανές αέριο όπως το αργό. Για την αποδοτική μεταφορά ορμής, το ατομικό βάρος του ψεκάζοντας αερίου πρέπει να είναι στενό στο ατομικό βάρος του στόχου, έτσι για την επιμετάλλωση των ελαφριών στοιχείων το νέο είναι προτιμητέο, ενώ για τα βαριά στοιχεία το κρυπτό ή ξένο χρησιμοποιείται. Τα αντιδραστικά αέρια μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για να ψεκάσουν τις ενώσεις. Η ένωση μπορεί να σχηματιστεί στην επιφάνεια στόχων, κατά την πτήση ή στο υπόστρωμα ανάλογα με τις παραμέτρους διαδικασίας. Η διαθεσιμότητα πολλών παραμέτρων ότι ο έλεγχος ψεκάζει την απόθεση το κάνει μια σύνθετη διαδικασία, αλλά και επιτρέπει στους εμπειρογνώμονες έναν μεγάλο βαθμό ελέγχου της αύξησης και της μικροδομής της ταινίας.

Χαρακτηριστικό γνώρισμα: εύκολος να ελέγξει ταινιών χρώματος, το λεπτού και ομαλού ταινιών μόριο πάχους και

Εφαρμογή: 3C προϊόντα, ρολόι, κόσμημα, κ.λπ.

Πράσινη διαδικασία: κανένα επιβλαβές αέριο, κανένα νερό αποβλήτων, κανένα απόβλητο.