Μια μηχανή επίστρωσης PVD είναι μια εξειδικευμένη συσκευή που χρησιμοποιείται για τη φυσική εναπόθεση ατμών, μια διαδικασία επίστρωσης με βάση το κενό. Εφαρμόζει λεπτές, ανθεκτικές μεμβράνες σε διάφορα υποστρώματα, ενισχύοντας τις επιφανειακές τους ιδιότητες. Το μηχάνημα λειτουργεί εξατμίζοντας ένα στερεό υλικό, συχνά ένα μέταλλο ή κεραμικό, μέσα σε ένα θάλαμο κενού. Αυτός ο ατμός στη συνέχεια συμπυκνώνεται στο υπόστρωμα στόχο, σχηματίζοντας μια ομοιόμορφη επίστρωση.

Τα βασικά εξαρτήματα περιλαμβάνουν θάλαμο κενού, σύστημα άντλησης, πηγή εξάτμισης, όπως σκάφη εξάτμισης ή στόχους εκτόξευσης, και τροφοδοτικά. Υπάρχουν πολλές τεχνικές PVD, όπως η εξάτμιση και η ψεκασμός. Κάθε μέθοδος ταιριάζει σε διαφορετικές εφαρμογές με βάση τις απαιτήσεις επίστρωσης.