Ένα μηχάνημα επίχρισής PVD είναι ένα εξελιγμένο κομμάτι βιομηχανικού εξοπλισμού που χρησιμοποιείται για την εφαρμογή λεπτών επικαλύψεων σε διάφορα υποστρώματα μέσω μιας διαδικασίας που ονομάζεται φυσική εναπόθεση ατμού.Το υλικό εξατμίζεται από μια στερεή πηγή σε έναν θάλαμο κενού και στη συνέχεια αποθηκεύεται στο αντικείμενο-στόχοΟι κοινές τεχνικές PVD περιλαμβάνουν ψεκασμό και εξάτμιση.

Το μηχάνημα αποτελείται από διάφορα βασικά εξαρτήματα. Ένας θάλαμος υψηλού κενού είναι απαραίτητος για την πρόληψη της μόλυνσης και να επιτρέψει στα εξατμισμένα σωματίδια να ταξιδεύουν απεριόριστα.όπως στόχος ψεκασμού ή σκάφος εξατμίσεωςΈνα τροφοδοτικό, συχνά μια υψηλής τάσης πηγή συνεχούς ρεύματος ή RF, παρέχει την ενέργεια που απαιτείται για να εξατμιστεί το υλικό.και μπορούν να περιστρέφονται ή να μετακινούνται για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφη κάλυψηΤα εξελιγμένα συστήματα ελέγχου διαχειρίζονται παραμέτρους όπως πίεση, θερμοκρασία και ρυθμό εναπόθεσης.