Οι μηχανές επίστρωσης φυσικής εναπόθεσης ατμών χρησιμοποιούν προηγμένη τεχνολογία κενού για τη δημιουργία λεπτών, ανθεκτικών στρώσεων μεμβράνης σε διάφορα υποστρώματα. Κατά τη λειτουργία, αυτά τα συστήματα δημιουργούν πρώτα ένα περιβάλλον υψηλού κενού για την εξάλειψη των ρύπων. Η διαδικασία περιλαμβάνει την εξάτμιση στερεών υλικών επίστρωσης μέσω τεχνικών θερμικής εξάτμισης ή ψεκασμού. Κατά την εκτόξευση, τα σωματίδια ιονισμένου αερίου βομβαρδίζουν ένα υλικό στόχο, αποσπώντας άτομα που στη συνέχεια εναποτίθενται στην επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας. Οι μέθοδοι εξάτμισης χρησιμοποιούν έντονη θερμότητα για να μετατρέψουν τα υλικά επικάλυψης σε φάση ατμού.

Αυτά τα μηχανήματα διαθέτουν εξελιγμένα συστήματα ελέγχου που ρυθμίζουν τη θερμοκρασία, την πίεση και τους ρυθμούς εναπόθεσης για να εξασφαλίσουν σταθερή ποιότητα φιλμ. Οι πολλαπλοί θάλαμοι διεργασίας επιτρέπουν διαδοχικές εφαρμογές επίστρωσης διατηρώντας παράλληλα την ακεραιότητα υπό κενό. Τα προηγμένα συστήματα PVD ενσωματώνουν ενίσχυση πλάσματος για τη βελτίωση της πρόσφυσης και της πυκνότητας της επίστρωσης.